「人が創る人を創る」人と技術で最先端の機械製品・機械部品をサプライする株式会社メープル　オリジナル製品

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メープルは、熟練の技術者と最新の生産設備環境による高精度加工・組立により、お客様のニーズにお応えします

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膜厚測定用エリプソメーター

Ｍａｋｐｌｅ　　Ｅｌｌｉｐｓｏｍｅｔｅｒ

●各種透明薄膜（例：ＩＴＯ、ＺｎO2、ＳｎＯ2、ＳｉＯ2等）に適用

●膜厚＆屈折率を短時間で測定可能

●単色光＋フルマニュアルで低価格を実現

●サンプルは微小切片から300mmφまで

【　仕　様　】

名　称			膜厚測定用エリプソメーター
モデル名			ＭＥＬ-1000
膜質			ＩＴＯ、ＺｎO2、ＳｎＯ2、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2、ＳｉＮ、ＭｇＯ、他
試料大きさ			最大φ300mm×高さ5mm
測定角度			０～６１度、　０．２度毎に調整可能
測定位置調整			X軸＋Ｒ軸＋Ｚ軸　（Ｙ軸はＸ＋Ｒで調整）
光学系構成部品			He-Neレーザー、偏光子、波長板、ピンホール、検出器
外形寸法			１０２０（W)×５３５（D)×６４５（H）ｍｍ
重さ			約３５ｋｇ

当社では、生産設備へのスケールアップ等の
ご検討も承りますので、ぜひ一度お問い合せ下さい。

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