「人が創る人を創る」人と技術で最先端の機械製品・機械部品をサプライする株式会社メープル　オリジナル製品

メープルは、熟練の技術者と最新の生産設備環境による高精度加工・組立により、お客様のニーズにお応えします

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	人を創る

GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置

イメージ図

●ＧａＮ成膜装置に使用する各種治具のドライ洗浄に最適

●洗浄可能な治具は、ＳｉＣコートカーボン、石英等

●ダミーウエハのサファイア基板も洗浄可能

●高価で時間のかかるウエット洗浄や大量の予備部品が不要

●本装置導入でメンテナンス費用の削減に貢献可能

●作業者に負担のかからない安全設計

当社では、生産設備へのスケールアップ等の
ご検討も承りますので、ぜひ一度お問い合せ下さい。

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